與物理量光電開關傳感器相比，化學量傳感器的一個重要特征在于檢測過程中一般會與測量環境之間發生物質的交換。對于大部分化學量傳感器來說，這種物質的交換過程往往伴隨著化學反應。顯然與能量交換的可逆性相比，化學反應的可逆性要差得多，往往會成為影響微傳感器響應特性、滯后、重復性乃至長期使用壽命等性能指標的重要因素。因此，如果從數值上來看，大部分化學量微傳感器的性能指標，尤其是使用壽命以及魯棒性方面，尚無法一物理量微傳感器相比，擺脫化學反應過程，利用物理方法檢測化學量，無疑是解決這一問題的最好方案。